Các máy bơm khuếch tán (diffusion pumps) trong hệ thống chân không cao (high vacuum) — ví dụ trong phủ lớp mạ, máy bay, điện tử, kính quang học.
Hệ thống yêu cầu hơi dầu thấp, áp suất chân không tốt, và ổn định trong nhiệt độ cao và tải lớn.
Có thể sử dụng thay thế cho các loại máy bơm chân không chuyên dụng khi tiêu chuẩn phù hợp được đảm bảo.